Nature ハイライト

ナノファブリケーション:メタレンズを用いたナノ構造の並列印刷

Nature 648, 8094

三次元ナノ構造の作製は、プロセスに時間がかかる上、大きな設置面積とナノメートル精度の再現性を確保するのに手間がかかるため、従来は小面積でしか実現されていない。今回、ナノリソグラフィーの並列化用にメタレンズを用いる、こうした製造要件の大規模達成に向けた道筋が示され、センチメートルスケールに及ぶナノ構造の並列印刷が、1日当たり5000万個を超えるスループットで実証された。

2025年12月18日号の Nature ハイライト

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