Nature ハイライト

エレクトロニクス:シリコントランジスターのモノリシック三次元集積化

Nature 654, 8119

今回、単結晶シリコンの極薄層を垂直方向に積層して、トランジスター、3D論理/メモリー回路を構築する方法が示されている。この手法は低温プロセスであるため、これを用いれば、現在の先進的なチップ上に追加の回路を積層でき、設置面積を維持しながら性能を向上させられる可能性がある。

2026年6月18日号の Nature ハイライト

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