Letter 工学：圧縮可能なシリコン・オプトエレクトロニクス部品を用いた半球状電子アイカメラ 2008年8月7日 Nature 454, 7205 doi: 10.1038/nature07113 人間の眼は、設計上多くの魅力的な特徴をもつ素晴らしい撮像デバイスである。中でも際立つのは、他の多くの生物系にみられるものと同様の半球状の検出器形状であり、簡単な少数の撮像光学素子で広視野と低収差を可能にする。このタイプの構成を、確立されたオプトエレクトロニクス技術を用いて実現するのは極めて困難だが、それは、このようなシステムを作製するために用いられるパターニング、蒸着、エッチング、材料成長、およびドーピング方法が、本質的に平面的なものだからである。今回我々は、こうした制約を回避する手法と、この手法を用いて、単結晶シリコンをベースした高性能半球状電子アイカメラを作製した結果について報告する。我々の手法では、通常とは異なる二次元的に圧縮可能な構成で作られたウエハースケールのオプトエレクトロニクス部品と、平面的なレイアウトを変換できる弾性転写材とを用いており、このシステムはまず弾性転写材に半球形状に作製され、最終的に実装される。関連する機械的特性の理論的解析結果を考え合わせると、今回の方法は、一般的な意味で、成熟した平面デバイス技術を複雑な曲線的輪郭をもつ物体の表面へ集積化する実用的な手段を提供するものであり、従来の手段では対応できない多様な用途に適している。 Full Text PDF 目次へ戻る
