Letter 物理：15nm以下の高い空間分解能を持つ軟X線顕微鏡法 2005年6月30日 Nature 435, 7046 doi: 10.1038/nature03719 ナノメートルスケールの空間分解能を持つ分析ツールは生命科学や物理科学で不可欠なものとなっている。このようなツールは、より深い侵入深度においても10 nm以下のスケールで元素や化学種の同定ができることが望ましい。最近、このような機能を併せ持つX線イメージングのさまざまな技術が開発されている。本論文では、ゾーンプレートの作製にオーバーレイ技術を用いた軟X線顕微鏡によって、15 nm以下、そしてクリアパスが10 nm以下の空間分解能を実現した結果を報告する。この顕微鏡は250 eV（波長は約5 nm）から1.8 keV（約0.7 nm）までの光子エネルギー・スペクトル領域をカバーするので、C、N、O、Al、Ti、Fe、CoそしてNiなどの元素のK殻およびL殻の原子共鳴がプローブできる。従って、このX線顕微鏡技術は多様な分野の研究に適している。すなわち、「水の窓」領域における生物の画像化、ウェット状態の環境試料の研究、元素とスピン‐軌道の両方の感度に関する磁気ナノ構造の研究、あるいは、例えばシリコンチップ中に埋込まれた電子デバイスのように狭い窓、コーティング、あるいは基板を通しての観察が必要な研究、また凍結固定した生物細胞の3次元イメージングなどである。 Full Text PDF 目次へ戻る
