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光学:広帯域の極端紫外線及びX線イメージングに使う色消しフレネル光学系

Nature 424, 6944 doi: 10.1038/nature01756

極端紫外線(EUV)光学やX線光学が進展したため、顕微鏡試料の高分解能イメージングや微量元素分析の性能が大きく向上し、また、次世代集積回路のリソグラフィーにおいてより小さな微小寸法の素子を製造する可能性がひらけてきた。しかし、このような光学系で最高の分解能を得るには通常、高い単色性を持つEUVあるいはX線ビームを照射する必要がある。そのため、レーザー生成プラズマのようなより広帯域の光源からの光をもっと利用できるよう、色消し性が高く、広い視野を持つ100nm以下の分解能の光学系が強く望まれる。ここでは、フレネルゾーンプレートと、それと反対の色収差を持つ屈折レンズを組合せた、EUVあるいはX線放射に使う色消しフレネル光学系を報告する。吸収端付近で屈折レンズ材料が示す大きな異常分散の性質を利用して、この目的を達成した。得られた構造は、フレネルゾーンプレートの全電磁スペクトルにおいて今まで実現された最高の分解能(25nm)に匹敵する分解能を達成でき、スペクトル帯域幅が2桁以上改善されている。

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