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応用物理学：マイクロチップの3D画像化

Nature 543, 7645 doi: 10.1038/543325a

集積回路はほとんど全ての電子デバイスに使われているが、集積回路を3Dで撮像するのは難しい。今回、非破壊的にこうした回路の高分解能画像を得る方法が実現された。

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