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光学:X線バーストで撮影したマイクロチップの微細構造

Nature 632, 8023 doi: 10.1038/d41586-024-02377-7

コンピューターチップの部品が小型化されるにつれ、その構造はますます複雑になり、画像化も困難になっている。今回、X線バーストを使用する手法により、高解像度で高速な可視化ができるようになり、単一のトランジスターレベルまで確認できるようになった。

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