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리서치 하이라이트

고속 스캐닝 및 고해상도 이미지 확보가 가능한 나노리소그래피

Nature 469, 7331

원자력 현미경(atomic-force microscopy)과 같은 스캐닝 프로브 테크닉은 정밀한 해상도를 통해서 나노 스캐일 구조를 분석하는 것이 가능하지만, 고속 패터닝(high-throughput patterning)에는 적절하지 않았다. 반면 접촉 인쇄(contact printing) 방식을 기반으로 한 기술은 넓은 범위에 대한 고속 분석이 가능하지만, 해상도가 떨어지는 것이 단점이었다. 최근 Wooyoung Shim과 공동 연구원들은 이 두 가지 방식을 접목시킨 가장 최선의 방법에 대한 연구 결과를 발표하였다. 단단하고 스캐닝 프로브와 유사한 실리콘 팁을 유연한 탄성 재질(접촉 인쇄 방식에 사용된 재료와 유사)에 결합시킴으로써 저자들은 센티미터 크기의 영역에 대해서 50nm 이하의 해상도 이미지를 얻는데 성공하였다. 이번에 발표된 새로운 나노리소그래피 전략 (nanolithography strategy)은 산업계 및 연구 분야에서 고속 포토타이핑 응용 분야에 적용 가능할 것으로 보인다.