리서치 하이라이트

STEM 및 EELS를 이용한 원자 컬럼의 화학 조성 분석

Nature 450, 7170

미세 구조 특성 분석은 복잡한 물질을 연구하는데 있어서 매우 중요하다. 예를 들어, 반도체는 나노미터 크기의 구성 요소들로 이루어져 있으며, 성능은 원자 단위의 마이크로 구조에 의해 결정된다. 비록 전자 현미경이 각각의 원자를 관찰할 수 있지만, 원자의 화학적인 종류를 구분하지는 못한다. 주사 투과 전자 현미경(Scanning Transmission Electron Microscopy, STEM)과 전자 에너지 소실 분광광도계(Electron Energy-Loss Spectroscopy, EELS)를 결합시킨 방법을 통해서 각각 원자 컬럼의 화학적인 조성을 분석하는 것이 가능하지만, 실제로는 완전한 2차원적 분석이 불가능하였다. 최근 이러한 문제들이 극복되었으며, STEM/EELS 이미지 촬영을 통해 층을 형성하고 있는 수망간석(manganite) 내의 란탄(Lanthanum), 망간(manganese), 그리고 산소(oxygen)를 시각화 하는데 성공하였다.