액체 원료 기반의 실리콘 필름 및 트랜지스터 생산 방법

실리콘 반도체 장치를 생산하기 위해서는 매우 복잡한 포토리소그라피 공정(photolithographic process) 및 대규모 장비가 필요하기 때문에, 많은 연구자들은 스핀 코팅 또는 프린팅과 같은 단순한 공정을 통해 취급할 수 있는 대체 반도체 재료를 찾아왔다. 현재까지 유기 반도체가 가장 유력한 후보이지만, 여전히 성능 및 신뢰도가 부족하다. Shimoda 등은 다른 접근 방법, 즉 재료가 아닌 실리콘 트랜지스터 자체를 인쇄하는 방법을 택하였다. 이들은 새로운 액체 전구체를 스핀 코팅함으로써 다결정성 실리콘 트랜지스터(polycrystalline silicon transistor)를 제작하는데 성공하였다. 이와 같은 액체 기반 접근 방식(solution-based approach)은 잉크젯 프린팅 방식을 반도체 제작에 적용할 수 있는 가능성을 보여주었다.