리서치 하이라이트

최신 트랜지스터를 위한 초박형 강성(Ferroic) HfO2–ZrO2 초격자 게이트 스택(Gate stack)

Nature 604, 7904

이 논문에서는 트랜지스터의 초박형(Ultrathin) 게이트 물질(Gate materials)로써 향상된 전기용량(Capacitance)을 가지는 강성 다층 스택(Stack)의 개발에 대해 발표하였다.

2022년4월7일 자의 네이처 하이라이트