리서치 하이라이트

전자적으로 통합된 대량생산된 미세 로봇

Nature 584, 7822

50년동안 초소형 전자공학(Microelectronics) 분야에서 무어의 법칙(Moore’s Law)을 확장하여 복잡성, 소형, 저렴한 비용 모두를 충족시킬 수 있는 전자, 자기, 광학 시스템을 구현하였다. 미세 로봇(Microscopic robotics) 분야의 급격한 발전은 이를 활용하여 사람 시각의 해상 한계(Resolution limit) 보다 훨씬 더 작은 로봇을 개발하는 것을 목표로 하고 있다. 그러나 불행하게도 아직까지 반도체 공정을 통합하고 표준 전자 제어 신호에 반응할 수 있는 마이크로미터 규모의 액추에이터 시스템(Actuator system)은 없다. Marc Miskin과 연구진들은 실리콘 공정과 호환 가능한 새로운 종류의 전압 제어 가능 전기화학적(Electrochemical) 액추에이터를 시연하였다. 연구진들은 이러한 로봇의 잠재력을 4인치 웨이퍼(Wafer) 위를 걷는 100 마이크로미터 이상 백만 마이크로미터 미만의 로봇을 생산함으로써 보여주었다. 이 결과는 너무 작아서 육안으로 보이지 않는 매우 복잡하고 실용적인 로봇의 대량 생산법을 제공할 것으로 보인다.