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カルコゲナイドガラスを用いたフレキシブル集積フォトニックデバイス

Nature Photonics 8, 8 doi: 10.1038/nphoton.2014.138

薄いフレキシブルプラスチック基板でのフォトニック集積は、フレキシブルインターコネクトの実現から皮膚に貼付できるコンフォーマルセンサーまで、新しい応用に重要である。そうしたデバイスは、従来パターン転写を用いて作製されているが、パターン転写は複雑で、集積化能力に限界がある。今回我々は、カルコゲナイドガラスを用いた高屈折率差フレキシブル集積フォトニックデバイスを実現する簡便なモノリシック法について報告する。我々は、局所中立軸設計と適切な作製手法を開発することによって、導波路、マイクロディスク共振器、アドドロップ(add–drop)フィルター、フォトニック結晶を含む、光学性能と機械的柔軟性に優れた一連のフォトニックデバイスを実現している。こうしたデバイスは、測定できる性能の低下を示さずに、サブミリメートルまでの半径で繰り返し曲げることができる。今回の手法によって、従来法では作製困難な三次元高屈折率差フォトニックデバイスの簡便な作製手段が得られる。

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