1. Nature Japan
  2. Nature Photonics
  3. v2 n2
  4. 便利な卓上型軟X線レーザー
In This Issue

便利な卓上型軟X線レーザー

Nature Photonics 2, 2 doi: 10.1038/JnphotonInThisIssue64589

波長13 nmのコヒーレント光を発生させる使い勝手のよい光源は、イメージングや極紫外線リソグラフィー・システム（次世代の半導体集積回路を製造するために開発中）向けに必要である。卓上型X線レーザーは、そのような光を発生させるのに有望な光源のようである。今月号では、コロラド州立大学のJ　Roccaらが、波長20 nm未満で動作する空間的・時間的に高度にコヒーレントな卓上型X線レーザーを初めて実験的に実証したことについて報告している。Roccaらの光源は、Ti:サファイアレーザーから高調波シードパルスをレーザー生成プラズマ中へ注入し、モリブデン原子の18.9 nm遷移および銀原子の13.9 nm遷移によってそのシードパルスを増幅させている。
Full text
PDF

目次へ戻る

advertisement
プライバシーマーク制度